ICC訊 據(jù)韓媒KoreaHerald報道,韓國最大半導體設備制造商、三星供應商Semes的兩名前雇員,涉嫌參與向一家中國公司出售關(guān)鍵的晶圓清洗機而被起訴!
據(jù)悉,被倒賣的設備是來自Semes的尖端晶圓清洗機。
韓國檢方表示,Semes的2名前員工參與向一家未公開的中國實體企業(yè)出售關(guān)鍵的晶圓清洗機,另外還有2名Semes供貨商員工也涉案,他們都被檢察官以違反《防止不正當競爭和商業(yè)秘密保護法》的罪名起訴。
據(jù)韓媒報導,被指控技術(shù)盜竊的人共獲得大約800億韓元的技術(shù)竊密回饋。地方檢察廳發(fā)言人表示,完成調(diào)查還需要幾周時間。
這些機器被認為是三星尖端半導體芯片技術(shù)的關(guān)鍵。在芯片制造流程中,使用清洗設備保持晶圓的清潔至關(guān)重要。隨著晶圓變得更薄,該工藝需要更復雜的方法。而克服技術(shù)障礙的方法之一是讓設備使用超臨界流體狀態(tài)的二氧化碳來清潔晶圓,與使用其他流體(如超純水)進行清潔相比,這可以減少對晶圓的損壞。
Semes是一家提供從清潔到蝕刻、攝影、測試和封裝等芯片制造過程的設備供貨商,也是全球第一家開發(fā)技術(shù)晶圓清洗機的公司,并獨家供應給三星電子,專門用于內(nèi)存芯片、處理器芯片等制造。三星在Semes擁有超過90%的股份。