以色列Tower半導(dǎo)體將研發(fā)光電集成代工工藝，實(shí)現(xiàn)硅上集成激光器

  ICC訊 以色列Tower半導(dǎo)體將在美國(guó)國(guó)防高級(jí)研究計(jì)劃局(DARPA)“通用微尺度光學(xué)系統(tǒng)激光器”(LUMOS)項(xiàng)目提供的部分資金支持下，研發(fā)可制造硅上集成激光器的光電代工工藝。Tower公司主要提供高價(jià)值模擬半導(dǎo)體代工服務(wù)。

  在硅上集成激光器的好處包括增加激光器的密度、減少激光器和光電子器件之間的耦合損耗、減少所需器件及極大簡(jiǎn)化封裝方案。新的工藝將結(jié)合高性能Ш-V激光二極管與Tower公司的PH18硅光電平臺(tái)。當(dāng)與Tower的無(wú)源和有源硅光電器件(如硅和氮化硅波導(dǎo)、馬赫曾德?tīng)栒{(diào)制器和Ge光電二極管)相聯(lián)合集成時(shí)，將使今天無(wú)法從批量半導(dǎo)體或光子學(xué)代工廠獲得的新產(chǎn)品成為可能。

  待新工藝準(zhǔn)備就緒后推出多項(xiàng)目晶圓運(yùn)行(MPW)。工藝開(kāi)發(fā)包(PDK)的初版預(yù)計(jì)將于2021年推出，包括激光器和放大器。研究成果將成為DARPA的LUMOS項(xiàng)目的一部分。

  LUMOS項(xiàng)目旨在將高性能激光器引入先進(jìn)的光子學(xué)平臺(tái)，具體包括三個(gè)不同的技術(shù)領(lǐng)域，來(lái)解決多個(gè)商業(yè)和國(guó)防應(yīng)用。

  1.將高性能激光器和光放大器帶入美國(guó)國(guó)內(nèi)先進(jìn)的光電子制造代工廠，研究成果將以MPW形式提供給研發(fā)團(tuán)隊(duì)。研究團(tuán)隊(duì)：Tower半導(dǎo)體公司和紐約州立理工學(xué)院。

  2.為微波應(yīng)用中的快速光子學(xué)平臺(tái)上開(kāi)發(fā)高功率激光器和放大器。研究團(tuán)隊(duì)：超低損耗技術(shù)公司、Quintessent、哈佛大學(xué)和桑迪亞國(guó)家實(shí)驗(yàn)室。

  3.為可見(jiàn)光譜應(yīng)用開(kāi)發(fā)精確的激光器和集成光子電路，目標(biāo)是在一個(gè)前所未有的光譜范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)“按設(shè)計(jì)所需設(shè)計(jì)波長(zhǎng)”。研究團(tuán)隊(duì)：NexusPhotonics、耶魯大學(xué)、加州理工學(xué)院、桑迪亞國(guó)家實(shí)驗(yàn)室和科羅拉多大學(xué)博爾德分校。