流片計劃公布 | 中科微光子：為國內外硅光用戶提供一站式技術支持

  ICC訊 中科院微電子所基于8英寸CMOS工藝線開發(fā)了國內首個具有完整硅光工藝流片能力的硅光平臺。近日，中科微光子科技(成都)有限公司公布其2022年下半年及2023年基于厚硅SOI、 石英襯底、 SiN材料等技術的流片計劃。

  中科微光子科技(成都)有限公司主要基于中科院微電子所硅光平臺開展硅基光子集成芯片的制備和測試服務， 以及硅光IP的合作開發(fā)與運營，廣泛面向光通信、 數(shù)據(jù)中心、光量子計算、激光雷達、微波光子、生物傳感等應用領域。公司由中科院微電子所、中科芯未來微電子科技成都有限公司(中科微電子產業(yè)技術西南研究院)共同組建，位于成都市雙流區(qū)芯谷產業(yè)園。目前已為二百余家客戶提供技術服務，客戶包括頂級科研機構及行業(yè)龍頭企業(yè)，為我國硅光子技術研究和產品研發(fā)提供了有力的支持。

  【主要產品及服務】1.無源/有源MPW流片服務微電子所硅光平臺每年可對外提供6-8次基于130n m光刻的8英寸SOI的MPW流片服務，工藝模塊包括220 nm/150 nm/70 nm無源器件刻蝕工藝、高速調制器摻雜工藝、 TiN加熱電極工藝、鍺材料外延工藝、 硅和鍺的歐姆接觸及金屬層工藝等。采用標準工藝，將多個客戶的Block(8/16/32個)在一個晶圓上進行流片，降低成本。

  2.定制化流片服務針對硅光技術研發(fā)中材料和工藝的多樣性， 開發(fā)了基于厚硅SOI、石英襯底、SiN材料的多種工藝模塊，可為客戶提供靈活的定制化技術服務。3.IP服務客戶可在硅光平臺對自主研發(fā)的硅光IP進行工藝驗證， 公司提供IP運營服務， 對外提供IP black box以及IP merge服務或IP code, 實現(xiàn)與IP研發(fā)客戶的合作共贏。

      【優(yōu)勢】

        截止到2022年9月，已為290余家客戶提供了19批次MPW流片服務和90余次定制化流片服務，經驗豐富。

        配置了商用級8/12英寸硅光晶圓測試系統(tǒng)、納米級光電芯片耦合測試系統(tǒng)，建立了全程可追溯的測試數(shù)據(jù)庫。

        實現(xiàn)與主流光子集成設計軟件集成。用戶可以在軟件中調用工具包， 利用平臺PDK提供的器件庫，便捷、靈活地進行符合平臺規(guī)范的硅光芯片設計。

  聯(lián)系方式 

      流片注冊：Email: services@hopho.com.cn

  彭慧 市場BD Tel: 13668329586 Email: penghui@hopho.com.cn

      尚峪旭 市場BD Tel: 15204379789 Email: shangyuxu@hopho.com.cn