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上海光機所國際首次采用石英玻璃研制出高性能偏振分光器

訊石光通訊網(wǎng)   發(fā)布時間:2007/8/9 9:02:18   編者:ICCSZ    
摘要： 上海光機所周常河課題組最近利用高密度等離子體刻蝕設(shè)備、半導體光刻工藝技術(shù)和激光全息技術(shù)，發(fā)展出石英玻璃深刻蝕技術(shù)，成功地在石英玻璃基底上加工出優(yōu)化
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    //odinmetals.com/site/CN/Search.aspx?page=1&keywords=%e4%b8%8a%e6%b5%b7%e5%85%89%e6%9c%ba%e6%89%80&column_id=ALL&station=%E5%85%A8%E9%83%A8" target="_blank">上海光機所</a>周常河課題組最近利用高密度等離子體刻蝕設(shè)備、半導體光刻工藝技術(shù)和激光全息技術(shù)，發(fā)展出石英玻璃深刻蝕技術(shù)，成功地在石英玻璃基底上加工出優(yōu)化深度的亞波長光柵，實驗證明其具有很高的偏振隔離度和衍射效率，是非常優(yōu)良偏振分光器件。</FONT></DIV>
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    該器件具有使用壽命長，不易霉變，穩(wěn)定、可靠，熱穩(wěn)定性好等顯著優(yōu)點。本項工作已經(jīng)申請發(fā)明專利，并在國際刊物Optics Letters 32, 1299(2007)上發(fā)表。</FONT></DIV>
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    偏振分光器是光學中的基礎(chǔ)器件，廣泛應用于光學實驗和光學儀器。所謂的偏振分光，就是把不同偏振的光在空間上分成不同的方向。通常的實現(xiàn)方法有雙折射晶體、偏振多層膜和高分子膜三種，但雙折射晶體價格昂貴，偏振多層膜工藝復雜、成本高，而高分子膜有吸收損耗大等不足之處。采用石英玻璃研制出偏振分光器，是有別于這些途徑的新方法。石英玻璃是各向同性材料，對于不同的偏振光表現(xiàn)出一樣的性能，這個技術(shù)的奇妙之處在于能將普通的各向同性的石英材料變?yōu)榫哂袃?yōu)良偏振分光性能的器件，同時石英玻璃材料具有很寬的透光光譜，熱膨脹系數(shù)小、成本低廉，因此，深刻蝕亞波長石英光柵器件有很好的應用前景。（信息光學開放實驗室供稿）</FONT></DIV>
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來源：中國科學院//odinmetals.com/site/CN/Search.aspx?page=1&keywords=%e4%b8%8a%e6%b5%b7%e5%85%89%e6%9c%ba%e6%89%80&column_id=ALL&station=%E5%85%A8%E9%83%A8" target="_blank">上海光機所</a>
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文章標題:上海光機所國際首次采用石英玻璃研制出高性能偏振分光器
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