昊衡科技|高性能OFDR--OCI1500--國(guó)產(chǎn)高端儀器助力國(guó)產(chǎn)化芯片制造

  ICC訊 昊衡科技自主研發(fā)以O(shè)FDR為核心的高分辨光學(xué)鏈路，具有超高空間分辨率，能精確測(cè)量回?fù)p、插損和光譜等參數(shù)，其事件點(diǎn)定位精度高達(dá)0.1mm，廣泛應(yīng)用于光器件、光模塊、硅光芯片等內(nèi)部鏈路反射情況測(cè)量，以下為一組硅發(fā)射芯片測(cè)量。

  硅發(fā)射芯片主要組件有一維光柵耦合器，可變光衰減器，強(qiáng)度調(diào)制器和偏振調(diào)制器。將芯片和OCI1500連接，進(jìn)行反射率分布測(cè)量。

圖1. 硅發(fā)射芯片鏈路示意圖

  在10μm空間分辨率下獲得測(cè)試結(jié)果，其中存在多個(gè)反射峰，且與芯片內(nèi)部器件一一對(duì)應(yīng)。為確定反射峰位置，在調(diào)制器上施加信號(hào)，對(duì)反射峰的變化情況進(jìn)行觀察和分析，得到最終分析結(jié)果。

圖2.硅發(fā)射芯片10μm測(cè)試結(jié)果

      從上述結(jié)果可以看出，高分辨光學(xué)鏈路診斷儀(OCI)可實(shí)現(xiàn)對(duì)芯片內(nèi)各器件的識(shí)別、定位及回?fù)p測(cè)量。OCI設(shè)備在芯片前期研發(fā)以及后期產(chǎn)線產(chǎn)品批量合格檢測(cè)中，可起到關(guān)鍵性作用。昊衡由衷希望，國(guó)產(chǎn)OFDR技術(shù)助力國(guó)產(chǎn)化芯片制造，加速硅光芯片項(xiàng)目開(kāi)發(fā)、測(cè)試與生產(chǎn)。