貴州航天電器申請微納多層膜型薄膜傳感器及制造方法專利

  ICC訊 2024年4月12日，據(jù)國家知識產(chǎn)權(quán)局公告，貴州航天電器股份有限公司申請一項名為“一種微納多層膜型薄膜傳感器及制造方法”，公開號CN117870886A，申請日期為2023年12月。

  專利摘要顯示，本發(fā)明公開了一種微納多層膜型薄膜傳感器及制造方法，所述微納多層膜型薄膜傳感器包括襯底、薄膜A和薄膜B，所述襯底外設置電極層，所述薄膜A和薄膜B設置在襯底上。本發(fā)明的制備方法可以在不借助先進光刻工藝及刻蝕工藝的情況下實現(xiàn)納米級電阻電路的精確制備，并且采用疊層的方法，極大的減少了功能層在襯底上所占的面積，使其寬度方向僅受切割方式的影響。有效的增加了膜型傳感器的功能層面積，大幅減小體積，增加傳感器精度，擴展了薄膜類傳感器使用空間下極限。